- 주요사양
- - 측정범위 : X=1,000mm, Y=1,200mm, Z=600mm
- 3차원 공간 정밀도(MPE) : (1.9 + L/300)㎛
- 프루빙 에러 : 1.9㎛
- 스캐닝 에러 : 3.8㎛(70sec)
- 최대 이동속도 : 축방향 250mm/s, 공간방향 520mm/s
- 최대 스캐닝 속도: 100mm/s
- 장비 분해능 : 0.2㎛
- 스캐닝시 분해능 : 0.1㎛
- 최대 연장 봉 길이 : 500 mm
- 스캐닝 측정 : 200 point/s
- 측정력 : 0.005 to 1N